SEMI EDA/介面A標準概要

「設備資料取得(EDA，又稱為介面A)」標準是一組SEMI標準，目的是要促進並且改善工廠資料收集軟體應用程式和工廠設備之間的通訊。工廠利用EDA收集來自設備的特定資料，然後分析這些資料以決定如何最佳地提高生產力、改善品質及降低成本。 

EDA並不取代SEMI GEM/SECS標準(E4、E5、E30及E37)或者SEMI GEM300標準(E39、E40、E87、E90、E94、E116、E148及E157)，原因是EDA並不提供任何設備控制或組態設定的特性。相反地，除其他的必要介面外，設備供應商還支援EDA。

在2009到2010年間，IC製造商開始向設備供應商要求整合性的EDA解決方案。自此之後，由於IC製造商推出計劃以改善良率和設備運用度，因此需求就持續增加。

EDA凍結版本 (Freeze Versions)

由於EDA標準持續地演進及改變，ISMI和其成員公司倡議凍結版本(Freeze Version)的概念。凍結版本讓設備的供應商能夠開發出可供安裝在工廠內的新系統，並且能夠讓IC製造商能夠開發新的資料收集客戶應用程式，同時SEMI繼續開發EDA標準。各項凍結可識別個別EDA標準(E120、E121、E125、E128、E132、E134、E138及E147)的特定版本，設備供應商及IC製造商利用這些作為聯合集組以進行介面實作。業界在2006年採用最初的ISMI 1105凍結版本，接著在四年之後，ISMI發表新的0710凍結版本，其中包含許多改良和一些新的功能。

SEMI藉由創建兩個可下載的標準概圖檔案綁束來採納凍結版本概念：一個是用於1105凍結版本，另一個是用於0710凍結版本。它們可在SEMI網站上取得。

SEMI EDA/介面A標準

Cimetrix從一開始就位居EDA/介面A標準開發的前沿，並且繼續投入資源來支援這些標準的開發及運用。我們與SEMATECH協力合作以開發EDA 客戶連線模擬器(ECCE)來支援Freeze Version I (1105)，並且接著是Freeze Version II (0710)。今日，Cimetrix提供ECCE Plus，這支援EDA標準的兩者版本。

EDA/介面A包含許多SEMI標準，所有這些標準都可從SEMI網站下載取得。下列五項為主要的SEMI標準：

  • E120「常見設備型號(CEM)規格」
  • E125「設備自我描述(EqSD)規格」
  • E132「設備客戶驗證及授權規格」
  • E134「資料收集管理規格」
  • E164「EDA常見元資料規格」

這兩種設備及工廠客戶應用程式都是在HTTP或HTTPS連線上利用SOAP/XML訊息透過網絡服務來實作介面，並且這些介面必須符合特定的SOAP/XML實作標準E120.1、E125.1、E132.1及E134.1。

EDA/介面A客戶操作 

  • 首先，各個客戶必須建立一個經認證會期。
  • 其次，客戶可請求「設備型號」元資料(要深入觀察這個主題，請觀賞視訊「E164 - EDA Common Metadata」)資訊以暸解透過EDA能夠獲用哪些資料。
  • 藉由這項資訊，客戶可定義並啟動「資料收集計畫(DCPs)」。
  • 設備將會繼續運作以產生「資料收集報告」，直到客戶解除這些計畫或是變成非可用為止。
  • 當適當關機時，客戶應關閉會期。

將EDA/介面A對映至SECS/GEM 

EDA (介面A)運用許多與SECS/GEM相同的概念。底下是類似概念和技術之間的對映關係。

SECS/GEM EDA/介面A
狀態變數、設備常數及資料變數 參數
警示 例外
收集事件(S6、F11) DCP內的事件
E39物件 SEMIObjType和實例IDs
追蹤資料收集 DCP內的追蹤
報告 資料收集計畫/報告
狀態機 狀態機
啟用/禁用收集事件 ActivatePlan/DeactivatePlan
定義及鏈結報告(S2、F33和S2、F35) DefinePlan

 

比較EDA/介面A與SECS/GEM

SECS/GEM EDA/介面A
SECS/GEM 僅支援一個客戶連線。IC製造商若無基礎架構來共享資料就無法在同時間運行多個資料收集應用程式。 EDA需要對於多個共時性客戶的支援。
SECS/GEM僅部分地自我描述並因而仰賴於良好的文件化。IC製造商抱怨經常無法良好地維護文件。 EDA透過E125標準的元資料進行自我描述。
SECS/GEM資料相當地龐大且未組織化。IC製造商必須研究文件、硬體、軟體和製程以瞭解如何組織這些資料。 EDA以階層方式呈現資料，藉由主要硬體元件所組織化。
SECS/GEM訊息內的資料為高度結構化並且相當沒有彈性。 由於EDA使用XML，因此內在地被設計為容納額外的元資料。
SECS/GEM僅在少數產業裡廣泛使用，全世界專家的數量受到限制。 SOAP/XML及HTTP為大多數網際網路及企業內網路應用程式的骨幹。全球眾多程式設計師都熟悉這項技術。
在多數的工廠裡，SECS/GEM介面是用於設備組態及控制，且因此承受到廣泛的監督與冗長的變更程序。任何資料收集變更都可能需要耗時數週才能實作。 EDA獨立於GEM介面，並因此對於製程工程師的動態性資料收集需求而言是立即能夠運用。

 

要進一步瞭解關於EDA/介面A術語、縮寫、元資料及連通性，請訪問英文Cimetrix EDA/介面A標準網頁。