半導体製造装置　自動化通信ソリューション関連製品

半導体業界で長年の実績を誇るCimetrixの製品は、オープンアーキテクチャ設計を採用し、SEMIスタンダードに準拠する製造装置のHost接続及びMES制御ソフトウェアの実装ソリューションをご提供します。

CIMConnect™
CIM300™
CIMPortal Plus™
CIMControlFramework™

装置接続ソリューション

SECS/GEM

SECS/GEMスタンダードは、様々な装置タイプに最も幅広く採用されています。SECS/GEMスタンダードではメッセージ、状態遷移、およびシナリオが定義されており、工場側のソフトウェアは製造装置の制御および監視を行うことができます。

Cimetrix CIMConnect™2020_CIMConnect_Diagram_v1-1

CIMConnectは半導体関連装置に、工場側MESホストとのSECS/GEM通信インタフェース機能を実装する開発ツールです。

  • 世界中のあらゆる半導体製造工場の量産ラインで、ほとんどの装置タイプに実装され用いられている、非常に実績のある製品です。
  • 複数の装置タイプに対応して簡単に実装展開のできる、ダイナミックコンフィグレーション機能を備えています。
  • 豊富なサンプルアプリケーションを利用して開発プロセスを加速できます。
  • システムのコントロールパネルは、診断、テスト、およびシミュレーションのためにリアルタイム表示機能と操作を提供します。
  • XMLプロトコルの利便性を取り入れたSMNを使用して、簡便にGEMインタフェースの設計と運用が実施できます。

GEM300

半導体工場で用いられる300mm装置には、SEMI GEM300通信スタンダード、および工場固有のシナリオの両方に準拠した自動化通信機能が要求されます。半導体業界で長年の実績を誇るCimetrix CIM300™ のGEM300通信開発ツールキットは、SEMIの通信スタンダードに準拠するドライバーを実装するために必要なモジュールをすべて備えています。

Cimetrix CIM300™

2020_CIM300_Diagram_v2

CIM300は半導体関連装置に、工場側MESホストとのGEM300　SEMIスタンダード通信インタフェース機能を実装する開発ツールです。

  • 世界中のあらゆる300mmのIC工場で用いられている、非常に実績のある製品です。
  • すべてのGEMおよびGEM300　SEMIスタンダードを実装できます。
  • GEM300スタンダードモジュール間の相互依存性を管理し、複雑なシナリオを簡単に実装できます。
  • GEM300スタンダードと、E157を含むEDAスタンダードの実装を密接に連携させることができます。

EDA/Interface A

EDA/Interface Aスタンダードは、最先端のIC生産工場における装置データ収集の性能向上、柔軟性、およびデータ品質に関する要求案件に対応するために開発されました。

Cimetrix CIMPortal™ Plus

2020_CIMPortalPlus_Diagram_v1CIMPortal Plusは、装置にEDA/Interface Aスタンダードに準拠するデータ収集システムの実装開発ツールです。

  • 世界の装置サプライヤ上位10社中8社が10年以上に渡って採用しています。
  • EDAスタンダードFreeze IおよびFreeze IIを同時にサポートしています。
  • E164準拠機能も備え、開発時間の短縮により、開発業務に関わるコストを大幅に削減できます。
  • 柔軟なデータ収集アーキテクチャを備えており、あらゆるインターフェイスに対応できます。

装置制御ソリューションフレームワーク

Cimetrixの装置制御ソリューションは、装置メーカー様が必要とされる、監視制御、搬送システム制御、プラットフォーム制御、プロセス制御、および工場の自動化接続等の全ての要件に対応した、次世代装置制御開発のソリューションフレームワークです。

CIMControlFramework™

2020_CIMFramework_Diagram_v1

CIMControlFrameworkを用いることによって、最新のSEMIスタンダードに準拠する高品位な装置制御ソリューションを実装できます。
  • Visual Studio、C#、および.NETフレームワークに対応しています。
  • CCFではフレームワークのソースコードをご提供します。これによりブラックボックスを排除し、安心してご利用いただけるパッケージとしています。
  • SEMI のGEM、GEM300、およびEDA/Interface Aの各スタンダードのインターフェースドライバーを標準装備しています。
  • 収集した装置データを様々な様式で表示可能なログデータ編集機能を持ち、非常にパワフルなトラブルシューティングツールとしてご利用頂けます。