SEMI EDA/Interface A

设备数据采集（EDA，又叫做Interface A）标准是一套SEMI标准，其设计目的是方便并改善工厂的数据采集软件应用和工厂设备之间的通讯。工厂使用EDA标准收集来自设备的具体数据，然后分析数据来确定如何才能更好的提高生产率，提高质量，降低成本。 

EDA标准并不能取代SEMI GEM/SECS标准（E4, E5, E30和E37）或SEMI GEM300标准（E39, E40, E87, E90, E94, E116, E148和E157），因为EDA标准并不提供设备控制或配置的功能。相反，除了其他必要的接口外，设备供应商也支持EDA标准。

在2009年和2010年，集成电路制造商开始要求设备供应商集成EDA解决方案。自那时起，随着集成电路制造商开展提高良品率和设备利用率的计划，这种需求就持续增长。

EDA冻结版本

由于EDA标准持续发展和变化，国际半导体制造协会（ISMI）及其成员公司创立了冻结版本的概念。冻结版本允许设备供应商开发可以安装到工厂的新系统，允许集成电路制造商开发新的数据收集客户端应用，同时让SEMI能够继续开发EDA标准。每个冻结版本标识了由独立的EDA标准（E120, E121, E125, E128, E132, E134, E138和E147）组成的具体版本，设备供应商和集成电路制造商可以将其作为一套统一的集合使用，用以实施接口。2006年，行业内采用了最初的ISMI 1105冻结版本；而四年后，ISMI发布了全新的0710冻结版本，包括许多改进的内容和新功能。

SEMI采纳冻结版本的概念，创建了标准模式文件的两套可下载捆绑包：一个供1105冻结版本使用，另一个供0710冻结版本使用。这些可以于SEMI网站找到。

SEMI EDA/Interface A

自始至终，Cimetrix一直站在EDA/Interface A开发的最前沿，投入专用资源推动标准的开发和使用。我们与SEMATECH合作开发出EDA用户连接模拟器(ECCE)，用以支持冻结版本II (1105)，然后支持冻结版本II (0710)。今天，Cimetrix提供支持两版EDA标准的ECCE Plus。

EDA/Interface A由多个SEMI标准组成，您可以在SEMI网站下载这些标准。以下是五个主要的SEMI标准：

  • E120 常用设备模型(CEM)规范
  • E125 设备自我描述(EqSD)规范
  • E132 设备用户验证与授权规范
  • E134 数据收集管理规范
  • E164 EDA常用元数据规范

通过网络服务，经由HTTP或HTTPS连接，使用SOAP/XML信息的设备与工厂用户应用程序实施接口都必须遵守特定的SOAP/XML实现标准E120.1, E125.1, E132.1和E134.1。

EDA/Interface A用户操作

  • 首先，每位用户必须建立经过验证的会话。
  • 然后，用户可以要求设备模型元数据（如需深入了解此主题，请观看视频“E164 - EDA常用元数据”）信息，了解通过EDA可以获得什么数据。
  • 有了此信息，用户可以定义并启用数据收集方案(DCPs)。
  • 设备将继续生成数据收集报告，直至用户停用此方案或用户不可用。
  • 正确关闭时，用户应该关闭会话。

将EDA/Interface A映射到SECS/GEM 

EDA（Interface A）使用的许多概念与SECS/GEM相同。这里是两者的类似概念和技术的映射图。 

SECS/GEM EDA/Interface A
状态变量，设备常量，数据变量 参数
警报 异常
收集事件（S6, F11) 数据收集方案(DCP)中的事件
E39对象 SEMIObjType和实例编号
追踪数据收集 数据收集方案(DCP)中的追踪
报告 数据收集方案/报告
状态机 状态机
启用/禁用收集事件 启用方案/停用方案
定义与链接报告(S2, F33 和 S2, F35) 定义方案

 

EDA/Interface A与SECS/GEM的对比

SECS/GEM EDA/Interface A
SECS/GEM 只支持一个用户连接。集成电路制造商在没有基础设施代码的情况下，不能同时运行多个数据收集程序。 EDA要求支持多个并发用户。
SECS/GEM只是部分自我描述，需要附加详细的文档描述。集成电路制造商经常抱怨文档经常得不到良好的维护。 EDA通过E125标准的元数据进行自我描述。
SECS/GEM数据相对较没有层次，较没有条理。集成电路制造商必须研究文档、硬件、软件和流程来了解如何组织数据。 EDA以层次的方式展现数据，并且按主要硬件组件对数据进行组织整理。
SECS/GEM信息中的数据为高度结构化数据，灵活性较差。 因为EDA使用XML，所以它自然就可以容纳额外的元数据。
SECS/GEM仅在少数行业得到了广泛应用，全世界范围内的专业用户人数有限。 SOAP/XML和HTTP是大部分互联网和内部网应用的基础。全球有许多程序员熟悉这一技术。
在大部分工厂里，SECS/GEM接口用于设备配置和控制，因此受到了严密的监管，修改程序冗长。让数据收集的修改得以实现至少需要数周时间。 EDA独立于GEM接口，因此可以满足过程工程师的动态数据收集需求。

 

若要进一步了解EDA/Interface A，缩略词，元数据和通讯连接，请访问Cimetrix EDA/Interface A标准的页面（英文版）。